规格：

测试技术：探针轮廓技术

测试功能：二维表面轮廓测试

样品视场：640*480像素，USB；17 inc 平板显示器

探针传感器：低惯量传感器（LIS 3）

探针压力：使用LIS 3传感器：1至15 mg

          使用N-lite传感器：0.03至15 mg

探针选项：探针曲率半径可选范围：50 nm至25 um;

          高径比针尖：10 um * 2 um 和200 um*20 um

样品载物台：手动X/Y/@：100*100 mm, 360度旋转，可手动校平；

            可选Y自动移动载物台，100 mm行程，1um重现性，0.5 um分辨率；

            可选X-Y自动移动载物台，150 mm行程；

            1um重现率，0.5 um 分辨率

计算机系统： 主机使用celeron或者semprom处理器

软件：Dektak软件

      台阶检测软件

      可选应力测量软件

      可选三维Vision分析软件

      可选缝合软件

减震装置：可选桌式震动隔离装置

          可选台式震动隔离装置

性能

扫描长度范围 55mm（2.1英寸）

每次扫描数据点 zui多12万数据点

zui大样品厚度 高达90 mm （4英寸），取决于配置

zui大晶圆尺寸 150 mm（6英寸）

台阶高度重现性 6埃

垂直范围：标准524um（0.02英寸）；可选1mm

垂直分辨率：zui大1A（6.55um垂直范围下）

尺寸：292 mm *508 mm*527 mm

重量：34 kg

电源要求：

输入电压： 100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ