具有定标功能的NT9800能够协助产前工艺及满足产品开发的需要,并可作为一个向量产过渡地稳定的,可靠的平台。采用Veeco*的内部参考激光将测量的标准台阶上的偏差降低到zui小,同时可弥补自环境或机械不稳定性造成的系统飘移。NT9800将zui强大的测量核心技术、全自动化功能、大于十年以上的量产支持体系,及使用简便的界面集于一身,已成为要求苛刻的科学研究及生产实践的*选择。
行业的Wyko Vision软件有超过200种的数据分析工具,包括自动序列测量、数据记录及及时反馈和SPC的合格/不合格标准评判。可选的数据分析包有膜厚分析软件(针对100nm以上的透明薄膜)。SureVision分析模板可便利地实现自动化,MATLAB界面可使工程师自行编程及整合用户分析算法。
NT9800光学轮廓仪是一款操作简便、目前zui的光学轮廓仪。