准分子的概念起源较早0 20世纪30年代初，L.Rayleigh就观察到稀有气体准分子辐射谱：Hg、Xe2、Kr2、Ne2、Ar2*.Tanaka和Zelikoff分别在1954、1955年提出“准分子”这一名词。真正的准分子的含义，是指在激光切割机在激发态能够暂时结合成不稳定分子，而在正常的基态又离解成原子的缔合物。其中，由两个同核原子构成的缔合物称为dimer，由两个异核原子构成的缔合物称为exc1—plex，由三个核原子构成的缔合物称为trimer，将它们统称为exclmer，这就是真正的准分子的名词来源。

    准分子激光的受激跃迁类型是束缚一自由跃迁。
    1970年，世界上*台*：Xe2*激光器诞生.1975年，Velazco等人观察到了稀有气体卤化物准分子的紫外辐射谱线，低气压下的亚稳态反应。之后，各种工作气体的*相继问世。因此，就诞生了一台以分子气体发射的co2激光切割机。
    目前*根据气体工作物质的不同分为两大类：一是高气压单元素稀有气体准分子激光；二是低气压稀有气体氧化物。
    2．能级
    准分子激光以三能级结构为主，包括基态、低能态、激发态。准分子激光辐射的主要特点是：几乎没有辐射损耗，量子效率高；无瓶颈效应；荧光谱为连续带，可调谐运转。
    3．种类
    准分子激光依据工作气体的不同，分为单卤素*和惰性元素卤化物*。
    4．泵浦要求
    准分子激光具有较高的泵浦功率密度要求。同时，要求有快激发速率，泵浦源快的上升时间和持续较长的有效泵浦时间。这些在激光切割机上面得到广泛的应用
    准分子激光的主要泵浦激励方式有电子束泵浦、放电泵浦、微波泵浦、质子束泵浦、光泵浦等。对电子束激励，可达到的电子束能量l06 eV，电流密度≈l04A/cm2.对放电激励，放电E/N比：要求3×10V/cm2气压为0.1MPa时，N≈3×l0Cm-3，从而E≈10\4～l05V/cm.

    准分子激光的量子效率一般为10%，光电效率1%.用50fs激光进行直写激光切割机的细雕。国外研究表明．在金属激光切割机微孔成形实验中，短脉冲激光产生的再铸层比紫外激光小得多；对比IN—VAR合金的加工成形，短脉冲激光的加工效果远远好于紫外激光；而对铼的加工实验表明，短脉冲激光的成形边缘清晰、圆度好；在钨、不锈钢、特氟伦、金刚石、蓝宝石、硅、陶瓷、多层纤维板等材料的实验中也显示出同样的结果。这是由于固体材料（金属或非金属）的热传导响应时间在皮秒量级，两种激光切割机的脉冲宽度不同导致了材料热效应的不同。而50fs激光在直写去除过程中可*避免热传导效应，实现“冷”加工。通过控制单脉冲输出能量和脉冲数，直写去除的深度可控制在几十纳米量级；对光束进行精细聚焦，可使横向去除的zui小尺度进一步降低。因此，飞秒激光在激光切割机三维结构的高精度直写成形方面具有*的潜力。飞秒激光对材料的超快作用是提高成形加工精度的本质性因素。激光与材料相互作用的时间远小于材料热传导的弛豫时间，故热效应对加工精度的影响可忽略。另一方面，飞秒激光单脉冲的去除率直接关系到成形加工的精度。通过对飞秒激光的超快相互作用机理研究，找出去除过程中光子与材料的动力学规律，从而实现加工精度的有效控制。

    在短波长、超短脉冲激光组合的激光切割机三维制造工艺中，主要依据综合集成的思路来完成，即包括：①系统集成。根据各种材料、多种微结构层次、多种精度的要求，集成短波长与超短激光的多种波长激光，主要包括紫外波段的四种激光与飞秒激光组合，来进行微加工操作。②方法集成。综合去除加工方法和加成加工方法，实现不同结构形式的微结构加工。③工艺集成。综合光刀形状与运动控制组合的三维结构成形工艺、光子数密度控制的三维成形工艺、扫描控制的三维微结构加工成形工艺、静止扫描点结合运动工件成形工艺等。④技术集成。综合光掩模并行加工和运动机械系统直写加工的优点，形成光一机一电集成微加工技术组合。⑤对成形加工系统进行综合优化，使各功能系统达到*的同步性和协调性。