1.准分子激光脉冲功率高
    准分子激光峰值功率可达吉瓦量级，形成较大的打标加工速率，实现微结构的快速加工，是激光打标机高速度的开端。
    2.加工方式能充分满足微结构生成的要求
    除了可以兼容平面光刻法中已有的大面积掩模曝光掩模加工技术外，还可以采用聚焦光束直接写入加工方式。这种激光打标机的加工方式摒弃了常规工艺中的掩模，将高度聚焦的激光束按加工轨迹和结构要求在基片上进行动态移动刻蚀操作，属于点加工方式。其动态移动范围在全三维空间进行，移动柔性表现为四个自由度以上，轨迹和结构参数由加工程控系统保证，并根据工艺要求预先设定。因此对微结构设计、微图案设计都具有较大的柔性，可实现打孔、线槽刻蚀、结构生成（去除式）、成形（添加式）、连接等多种微操作。由于柔性高，灵活性大，因此激光微制造可以较大幅度地节约时间简化制作步骤，提高生产效率。
    3.激光可以实现大面积或微区光诱导化学合成反应
    激光诱导光化学合成反应环境包括气相环境、液相环境以及固液混合环境，因而可以在微结构成形加工的同时进行表面的化学修饰或改性。
    4.其他优点
    激光打标机中激光加工作为成形加工新技术还具有很多其他的优势。如工艺步骤少，具有顺序和批量生产加工能力，不必很高的洁净室设备和很多昂贵加工工具的巨大投资要求，适用于很宽的加工范围如高聚物、陶瓷、玻璃、晶体等。
   从定量分析的角度，Brannon等从光化学过程的角度出发，在光吸收和材料刻蚀的基础上，运用比尔法则得到了激光打标率公式：式中，Xf为刻蚀率；a为材料的吸收系数；F为激光能量；Fo为激光阈值能量。
    但这个公式是建立在激光打标机正在刻蚀过程是在所有激光脉冲都通过基片之后才发生，而且与激光打标机中的激光辐射到基片的时间无关的假设上。而且仅在刻蚀阈值能量以上的很小的范围内与实验数据符合的较好。
 

    在此基础上，Sutcliffe等将激光打标机的刻蚀过程与吸收光子流量阈值和时间等因素综合考虑，得到了新的理论模型。该激光打标机模型将被刻蚀的基片分成l03～1 04个连续层，将徼光脉冲也以20ps为单位进行分解，计算出每一时间段ti内传递到基片的脉冲能量并利用比尔法则来计算深度zj处每层吸收的光子流量，有效光子浓度。

    当每单位时间单位体积内吸收的光子数即光子流量超过阈值流量Ⅱt时．即可发生聚合物的有效分解。当所吸收的有效光子浓度超过阈值光子浓度阳即可发生刻蚀。对于给定的材料Ⅱt和pt都是常数。该理论认为当激光能量在刻蚀阈值之下，所吸收的能量都转变为热能，因此热作用的影响在阈值之上是保持一定的。在这个理论模型的基础上得到的刻蚀率曲线与248nm和193nm的准分子激光在低能量（<1J/cm2）时刻蚀PMMA和Polymide的实验数据得到了较好的吻合。但通过实验发现这一激光打标机模型在于所采用的较高能量处与刻蚀率并不符合。