AFTEX-8000系列成膜设备
品牌
其他厂商性质
苏州市所在地
苏州铼铂机电科技有限公司
组合推荐相似产品
制程CMP抛光机
可编程热板
玻璃衬底片 临时粘结
蓝宝石载片,有孔或无孔 临时固定粘结用
高精度LD bar条堆取机
大途电子划裂片机
OPTO激光器bar条堆取机 镀膜夹具定制
AFTEX-8000系列是在1个成膜室搭载2个倾斜配置的ECR等离子体源,在高质量的光学薄膜等8英寸直径的基板上形成均匀性出色的多层膜,C to C枚叶式全自动多层膜形成装置。使用高活性高密度ECR(电子回旋共振)等离子体源,通过在等离子体引出部配置目标,实现基于固体源的ECR等离子体成膜。因为不需要使用CVD那样危险的气体,所以不需要排气处理,是对地球环境友好的成膜技术。
首页
展台
留言
联系方式
请选择您要拨打的电话:
该企业已关闭在线交流功能