美国ALICATPC/PCR压力控制器
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班奈自动化仪表(上海)有限公司
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结合您用得最顺手的真空计与艾里卡特PC-EXTSEN压力控制器,可打造的绝压控制方案用于真空沉积。质量流量控制器控制进入腔体的反应气体流量、PC-EXTSEN压力控制器稳定整个腔体压力。
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