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防水3轴圆柱坐标型机械晶圆搬运机械手臂特点： |
防水3轴圆柱坐标型机械手臂SWCR3000系列（配备300mm晶圆翻转机构+边缘夹持机构） |
在保护等级IP64 LSI半导体生产工艺条件下，能够在酸性，碱性环境下搬运半导体晶圆 |
手臂部分采用特氟龙镀层保证耐腐蚀性 |
手臂关节部位防水结构使用V型密封圈 |
零件之间的结合面采用Viton材质的密封条 |
Z轴的防水结构可以使用蛇腹管 |
配备动作监视器 |
控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式 |
全轴采用2相步进电机 |
S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆 |
晶圆固定方式: 真空吸附式，下托式，边缘夹持式 |
可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供的手指 |
防水3轴圆柱坐标型机械晶圆搬运机械手臂基本参数： |
使用环境 | 洁净间内的大气环境 |
手臂 | 单臂 |
到达距离 | 312mm (手臂第3关节中心到达距离) |
升降轴行程 | 200mm / 300mm |
可搬运质量 | 3kg以下 (手臂第3关节处基准) |
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