微量水分测试仪

微量水分测试仪

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2023-10-27 13:33:29
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芯茂(嘉兴)半导体科技有限公司

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产品简介

●检测 ppmv或ppbv级的高灵敏度且范围宽,即使微量的水也能检测出。●利用厚度仅为10nm的感应薄实现了的高速检测。●从天然气到高纯气体,设备全部涵盖。●适用于工业气体制造过程,以及运输时的质量控制。●电池制造过程中的水分监测;半导体制造用气体的纯度的控制;干燥箱,空间含水量分布的检测。

详细介绍

●检测 ppmv或ppbv级的高灵敏度且范围宽,即使微量的水也能检测出。
●利用厚度仅为10nm的感应薄实现了的高速检测。
●从天然气到高纯气体,设备全部涵盖。
●适用于工业气体制造过程,以及运输时的质量控制。
●电池制造过程中的水分监测;半导体制造用气体的纯度的控制;干燥箱,空间含水量分布的检测。

设备原理:
在直径为 3.3 毫米的小球表面有弹性表面波 (SAW) ,SAW波根据指令具备检测ppmv的下限 (1 / 1,000,000) 利用此弹性表面或 ppbv (1/10 亿) 微小水分测量的功能 且在1秒或30秒内实现高速响应。充分利用这些功能,研制了“Falcon Trace Trace“水分测定仪”系列产品。


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