真空镀膜系列-艾普斯卡（北京）设备有限公司手机版

详细介绍

手套箱蒸镀一体机

工作原理

本系统由真空镀膜系统和手套箱系统集成而成，可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀，并在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。

设备用途

主要用于太阳能电池钙钛矿、OLED和PLED、半导体制备等实验研究与应用。

优点

蒸发镀膜与手套箱组合，实现蒸镀、封装、测试等工艺全封闭制作，使整个薄膜生长和器件制备过程高度集成在一个完整的可控环境氛围的系统中，消除有机大面积电路制备过程中大气环境中不稳定因素影响，保障了高性能、大面积有机光电器件和电路的制备。

多功能磁控溅射镀膜系统

主要用途