大幅度提高了驱动速度(X 轴：80mm/s, Z2
轴：20mm/s)，近一步降低了总测量时间。
• 为了在一定时段内维持仪器的直线度规
格，三丰公司采用了具有的耐摩擦
性及稳定性的高硬度陶瓷导轨。
• 大量的外周设备选件支持CNC 模式，从
而可以很容易实现CNC 测量。
• 驱动装置(X 轴) 和立柱(Z2 轴) 中集成了高
精度线性编码器(Z2 轴为ABS 型)，从而提
高了在垂直方向持续自动测量小孔和不
易定位工件的重复精度。
• X 轴精度：±(0.8+0.01L)μm,
Z1 轴精度：±(0.8+|0.5H|/25)μm*，针对高精
度工件的测量所设计。
* CV-4100S4, H4, W4 型
L 为驱动长度，H 为测量高度(mm)
• CV-4100 系列的驱动装置集成了激光全息
测微计检测器，在Z 轴(垂直方向) 的窄／
宽测量范围内，提供的精度和分辨
率。