超高真空兼容系统微波等离子源-北京玉研精密仪器有限公司手机版

详细介绍

试样表面碳污染处理，腔体内壁面清洁，材料表面溅射处理。

(1)物理清洁：为离子轰击，清洁强度取决于离子动能。所有种类的气体均可充入，氩气清洁作用。

(2)化学清洁：氧气充入后产生电离反应，带有化学活性的氧离子可以对表面的污染物进行反应，达到清洁作用。

材质：不锈钢
供电电压： AC220V
功率：整机功率不超过150W

工作气压： 5~50Pa
安装接口规格： DN35CF刀口法兰

系统漏率： 5X10^-¹¹Pa*M³/S

可烘烤温度：120°C

氧气：

氩气：

氮气：