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有机废气处理设备处理污染物的原理为在外加电场的作用下，介质放电产生的很多高能电子炮击污染物分子，使其电离、解离和激起;然后引发一系列杂乱的物理、化学反应，使杂乱大分子污染物转变为简单小分子物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害物质，从而使污染物得以降解去除。

低温等离子体技能对大气量、低浓度的污染气体有较高的处理功率，是性价比十分高的有效处理技能。该办法具有功率高、成本低、设备适应性强、占地面积小、便于操作操控、开停便利、与喷漆工艺同步、可根据污染物源强和排放要求进行升级等长处。作为环境污染处理领域中的一项具有潜在优势的高新技能，等离子体受到了国内外相关学科界的高度关注。

单一等离子体有机废气处理功率较高且副产物较少，不会造成二次污染，但其较高的能耗和较低的能量功率是目前需求攻克的难题，等离子复合光催化可以弥补其缺点。等离子体催化剂选用TiO2，其为宽禁带(Eg=3.2eV)半导体化合物，只要波长较短的太阳光才干被吸收，激起其活性，所以设计反应设备的时候需求添加紫外光源。