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臭氧是*的广谱高效杀菌消毒剂。利用臭氧发生器产生臭氧从而达到杀菌消毒功能的机器就叫做陕西臭氧机。陕西臭氧消毒机主要用于电子和食品等行业。食品行业应用陕西臭氧发生器
的目的有两个方面：一是利用陕西臭氧机杀灭微生物，杀菌消毒；二是利用陕西臭氧消毒机氧化分解有机或无机物污染气味－除臭净化。陕西臭氧发生器这两方面的应用基础均依赖于O3的强氧化性能和不稳定易分解的特性。
陕西臭氧机可以按照各种工作性能来区别其类型。陕西臭氧消毒机按介电材料划分，常见的有石英管（玻璃的一种）、陶瓷板、陶瓷管、玻璃管和搪瓷管等几种类型。目前使用各类介电材料制造的陕西臭氧发生器市场上均有销售，其性能各有不同，玻璃介电体成本低性能稳是人工制造臭氧使用早的材料之一，但机械强度差。陶瓷和玻璃类似但陶瓷不宜加工特别在大型陕西臭氧机中使用受到限制。搪瓷是一种新型介电材料，介质和电极于一体机械强度高、可精密加工精度较高，在大中型陕西臭氧消毒机中广泛使用，但制造成本较高。
如果按陕西臭氧机的结构划分，陕西臭氧消毒机有间隙放电式（DBD）和开放式两种。间隙放电式的结构特点是臭氧在内外电极区间的间隙内产生臭氧，臭氧能够集中收集输出使用其浓度较高，如用于水处理。开放式发生器的电极是裸露在空气中的，所产生的臭氧直接扩散到空气中，因臭氧浓度较低通常只用于较小空间的空气灭菌或某些小型物品表面消毒。间隙放电式发生器可代替开放式发生器使用。但间隙放电式陕西臭氧发生器成本远高于开放式。
另外还有，紫外线式陕西臭氧机。紫外线式陕西臭氧消毒机是使用特定波长(185mm)的紫外线照射氧分子，使氧分子分解而产生臭氧。由于紫外线灯管体积大、臭氧产量低、使用寿命短，所以这种发生器使用范围较窄，常见于消毒碗柜上使用。还有，电解式臭氧机。电解式臭氧消毒机通常是通过电解纯净水而产生臭氧。